第117章 研究所选址(1 / 2)
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不再丝毫犹豫,赵晓阳选择了兑换。
【叮!兑换成功!193nmarf浸没式扫描光刻机全套技术资料已发放!】
一瞬间,无法用语言形容的庞大数据洪流,冲刷著他的大脑。
从光源系统到物镜系统,从工件台到对准系统,每一个零件的设计图纸,每一种材料的化学配方,每一行控制软体的底层代码……所有的一切,都以一种超越理解的方式,被鐫刻进他的记忆深处。
赵晓阳闭上眼,再睁开时,整个世界在他眼中都已不同。
那台由“黎明”计划拼凑起来,代表著1996年世界顶尖水平的248nm krf duv步进扫描机,在他眼中,已经布满了可以升级和叠代的路径。
第二天,京城西郊,那间巨大的恆温恆湿厂房內。
一群白髮苍苍的院士和项目负责人,围在那台被成功组装完成的光刻机旁,脸上是难以抑制的激动和自豪。
一位老院士用戴著白手套的手,轻轻抚摸著冰冷的金属外壳,“我们总算有了一台高性能的光刻机可以用来研发和学习了!”
另一位来自成都光电所的专家扶了扶眼镜,声音洪亮:“这台机器的组装,我们光电所贡献巨大!下一步的研究工作,理应以我们所为核心展开,我们的光学系统是全国最强的!”
话音未落,中电科四十五所的负责人就不乐意了,他哼了一声:“老刘,话不能这么说。光刻机是整机系统工程,不是只有一个光学系统就行的!论整机集成能力和工艺配合,我们四十五所最有经验!”
“要我说,光源才是重中之重!没有好的光源,后面都是白搭!这方面,我们上海光机所当仁不让!”
“都別爭了!微电子所才是最熟悉晶片製造流程的,研究应该围绕应用展开!”
厂房里,瞬间从庆祝的殿堂变成了爭吵的菜市场。
“都別爭了!”